スリット式塗布装置マルチコータ LC-Mシリーズ(実験機)
ナノレベルの薄膜から厚膜まで各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能なスリット式塗布装置。
- 実験・少量生産に最適 自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、LD/ULDとのインターフェースも可能。各種プロセスに対応できるフレキシブル装置構成が可能なので、実験・少量生産に最適です。
- 高精度な塗布均一性を実現 ディスプレー用で世界シェアNo.1の用スリット式塗布装置「リニアコータTM」の塗布技術を継承し、高精度な塗布均一性を実現。
- 段取り替え不要で、複数品種の塗布が可能 異なる2種類の材料塗布に対応可能な、2ノズル仕様もラインアップ。
- ご要望の膜厚・均一性を実現 多種多様の配管系統を準備できるので、ご要望の膜厚・均一性を実現します。
- 優れた膜厚均一性を実現
塗布部にはスリット式塗布装置「リニアコータTM」を搭載し、優れた膜厚均一性を実現
試作から量産までのサポート体制
- 当社実験設備において、お客様のご要望に応じた基材、塗布材料、塗布条件に塗布評価、塗布テストを承っております。お気軽にご用命ください。
- 経験豊富なプロセスエンジニアが装置チューニングを全面的にサポートして、アンコーティングや塗布ムラのない、高い膜厚均一性を実現します。
- 「リニアコータTM」シリーズをはじめ、多彩なラインアップで量産展開をサポートします。関連製品情報はこちら
- 受託サービスについてもお問合せください。
基本仕様
| 塗布/塗工方式 | スリットコータ（ダイコータ） |
|---|---|
| 対応薬液 | 感光材料（レジスト）、感光性絶縁膜、PI（ポリイミド） ペロブスカイト、インク、各種コーティング材料 （詳細はご相談ください） |
| 対応基材 | ガラス、樹脂基板、フィルム、金属箔 （その他、ご相談に応じます） |
| 対応基材サイズ | W300 ｘ L300 mm以上 |
※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。
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